服務(wù)熱線
021-57631797
產(chǎn)品分類(lèi)
- 實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備
- 振蕩器
- 攪拌機(jī)
- 磁力攪拌器
- 玻璃反應(yīng)釜
- 微波合成儀
- 分散乳化機(jī)
- 組織破碎機(jī)
- 無(wú)菌均質(zhì)器
- 分散均質(zhì)機(jī)
- 超聲波破碎儀
- 氮吹儀
- 濃縮儀
- 冰盒
- 孵育器
- 研磨儀
- 乳化機(jī)
- 勻漿機(jī)
- 反應(yīng)釜
- 檢查燈
- 恒溫水箱
- 低溫槽
- 電熱板
- 電爐
- 電熱套
- 分析天平
- 取樣器
- 觸控儀表
- 電子秤
- 水分測(cè)定儀
- 粉碎機(jī)
- 水浴鍋
- 真空泵
- 試驗(yàn)箱
- 實(shí)驗(yàn)室
- 高溫箱式爐
- 電阻爐
- 冷藏箱
- 制冰機(jī)
- 電子天平
- 生物安全柜
- 恒溫水槽與水浴鍋
- 滅菌器
- 分散機(jī)
- 冷水機(jī)
- 凝膠成像儀
- 恒溫器
- 低溫恒溫保存箱
- 氮?dú)獯祾邇x
- 電泳儀/電泳槽電源
- 生化培養(yǎng)箱
- 水循環(huán)裝置
- 恒溫油槽
- 純水器
- 清洗機(jī)
- 馬弗爐
- 干燥器/干燥箱
- 低溫冰箱/超低溫冰箱
- 超潔凈工作臺(tái)
- 氣候試驗(yàn)箱/老化試驗(yàn)箱
- 恒溫恒濕箱
- 高低溫試驗(yàn)箱
- 藥物穩(wěn)定試驗(yàn)箱
- 干燥箱
- 紫外分析儀/檢測(cè)儀/透射儀
- 水浴/水浴鍋/恒溫水浴
- 瓶口滴定器/瓶口分液器
- 攪拌器
- 離心機(jī)
- 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀
- 混勻儀
- 搖床
- 恒溫金屬浴/干式恒溫器
- 移液器/分液器
- 培養(yǎng)箱
- 恒溫振蕩器/振蕩器
相關(guān)文章
您的位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備 > 清洗機(jī) > V1000等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品中心
-
產(chǎn)品名稱(chēng)：
等離子清洗機(jī)
描述：雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000：13.56MHz高頻輸出的等離子清洗儀器，搭載RIE·DP雙模式。- 更新時(shí)間：2024-06-15
- 產(chǎn)品型號(hào)：V1000
- 產(chǎn)品廠地：上海市
- 訪問(wèn)次數(shù)：708
產(chǎn)品介紹
雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000產(chǎn)品特點(diǎn)：
■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機(jī)型，DP和RIE標(biāo)配的雙模等離子清洗儀器，可對(duì)應(yīng)更多復(fù)雜工藝.
●標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計(jì)，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為accurate。
●液晶觸摸屏控制，操作使用簡(jiǎn)單，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單。
■安全性·保護(hù)
●標(biāo)準(zhǔn)配備真空泄漏檢測(cè)功能，可以根據(jù)需要檢查設(shè)備的真空以及泄漏情況。
●裝載有過(guò)電流漏電保護(hù)、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過(guò)電流漏電保護(hù)裝置。
●發(fā)生器保護(hù)回路：超負(fù)荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問(wèn)題時(shí)，可自動(dòng)調(diào)低頻率來(lái)保護(hù)發(fā)生器。
●門(mén)鎖開(kāi)關(guān)：門(mén)在未*關(guān)閉時(shí)無(wú)法啟動(dòng)電源。
●側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開(kāi)或者未關(guān)好時(shí)，會(huì)停止電源。
●緊急停止按鍵（EMO）標(biāo)準(zhǔn)配備。
●當(dāng)裝置發(fā)生異常時(shí)，裝置本體發(fā)出警告信號(hào)的同時(shí)，進(jìn)行以下動(dòng)作1）關(guān)閉主閥。（2）關(guān)閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時(shí)間。（5）聲光報(bào)警
■產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
●清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理，可對(duì)應(yīng)更復(fù)雜的工藝。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可變電極構(gòu)造提高等離子處理效果。
●安全保護(hù)措施綿密，有效防止對(duì)機(jī)器以及樣品的損害。
●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務(wù)。
●硅晶圓的灰化及蝕刻。
●基板表面污垢處理。
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。
●自然氧化膜·有機(jī)物去除。
●界面活性處理。
●表面污染物去除
雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000產(chǎn)品參數(shù)：
型號(hào) | V1000 | |
方式 | DP&RIE雙模標(biāo)準(zhǔn)裝備 | |
性能 | 發(fā)生器功率： | 0-1000W |
發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式： | 自動(dòng)匹配（Automatching) | |
構(gòu)成 | 腔體材質(zhì)： | 鋁制腔體 |
腔體內(nèi)尺寸： | 400×400×384mm約61.4L | |
電極尺寸： | 300mm×300mm | |
反應(yīng)氣體： | 雙路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體 | |
填充氣體： | 一路氮?dú)?/span> | |
控制方式： | 全自動(dòng)控制，5.7寸液晶觸摸屏 | |
真空度顯示： | 測(cè)量高真空的電離式真空計(jì)標(biāo)準(zhǔn)配備，實(shí)時(shí)顯示腔體內(nèi)真空度 | |
配管材質(zhì)： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門(mén)： | 鉸鏈門(mén) | |
涂裝顏色： | 標(biāo)準(zhǔn)色，白系 | |
外形尺寸： | W700×D800×H1600mm（高度含警報(bào)燈） | |
真空泵： | 無(wú)油干式真空泵抽速100m3/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25 | |
電源規(guī)格： | 3phaseAC200V50/60Hz8A | |
重量： | 約215kg | |
附屬品 | 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套 | |
相關(guān)產(chǎn)品
- (上一篇)：PDC610等離子清洗機(jī)
- (下一篇)：YSP63FA等離子清洗機(jī)